在國家“863”計劃等項(xiàng)目的支持下,系統(tǒng)地開展了MOCVD生長室、原料輸運(yùn)、電路控制等方面的設(shè)計與技術(shù)研究工作,成功研制出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的可一次生長3片2英寸外延片的研發(fā)型MOCVD設(shè)備樣機(jī),實(shí)現(xiàn)了襯底機(jī)座的公轉(zhuǎn)/自傳獨(dú)立調(diào)節(jié)、具有低成本的新型原料配送結(jié)構(gòu)等功能,并生產(chǎn)出性能優(yōu)良的氮化鎵基材料。
阿薩德1111245